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自動橢圓偏振測厚儀/自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀

時間:2013/1/7閱讀:690
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測厚儀  /自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀 

型號:TP-TPY-2

產品特點:
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩定波長精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數據采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
 
規格與主要指標:
測量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍:1-10   
測量zui小示值:≤1nm                  入射角:20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度:每格1度                    允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步進角:0.014°/步               偏振器方位角范圍:0°- 180°    
測量膜厚和折射率重復性精度分別為:0.5nm和0.005
儀器測量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)
光學中心高度:80mm   
 
成套性:主機、電控系統、USB接口、配套軟件(需配計算機)
主機重量:26kg    外形尺寸:680*390*310mm

裝箱單

序號

名      稱  

規格或型號

數量

備 注

1

自動橢圓偏振測厚儀主機

TP-TPY-2

1臺

2

主機電控箱

TP-TPY-2

1臺

3

Q9連接線

1根

4

數據連接線

1根

5

電源線

2根

6

15線連接電纜

1根

7

USB連接電纜

1根

8

二氧化硅膜樣片

1張

軟件安裝盤

TP-TPY-2

1張

10

使用說明書

TP-TPY-2

1份

11

裝箱單

TP-TPY-2

1份

12

產品合格證

TP-TPY-2

1份

北京恒奧德科技有限公司 
  話:/68465110//

  真:
  機:

:李紅慧

  箱:hadkj51666919 
  
2820129828/1575574360/1321298635/1445496132
  址:www.hengaodebj.com   www.bjhadkj.54pc.com

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  址:北京市北洼路90號院16號樓317室(北京市地質工程勘察院院內)

 

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