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北京中慧天誠科技有限公司

數字式硅晶體少子壽命測試儀

時間:2013-11-18閱讀:777
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數字式硅晶體少子壽命測試儀/高頻光電導壽命測試儀(測單晶)
型號:KDKLT-100C
貨號:ZH8201
:
τ:1~6000μs   ρ>0.1Ω·cm太陽能硅片壽命 配已知壽命樣片、配數字示波器
為解決太陽能單晶、多晶少子壽命測量,特按照國標GB/T1553及SEMI MF-1535用高頻光電導法研制出了數字式少子壽命測試儀。
該設備是按照標準GB/T1553“硅單晶少數載流子壽命測定的高頻光電導衰減法”設計制造。高頻光電導衰減法在我國半導體集成電路、晶體管、整流器件、核探測器行業已運用了三十多年,積累豐富的使用經驗,經過數次十多個單位巡回測試的考驗,證明是一種成熟的測試方法,適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量;也可對硅片進行測量,給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面,制樣簡便。
產品特點:
1.可測量太陽能多晶硅塊、單晶硅棒少數載流子體壽命。表面拋光,直接對切割面或研磨面進行測量。同時可測量多晶硅檢驗棒及集成電路、整流器、晶體管硅單晶的少子壽命。
2.可測量太陽能單晶及多晶硅片少數載流子的相對壽命,表面拋光、鈍化。
3.配備軟件的數字示波器,液晶屏上直接顯示少子壽命值,同時顯示動態光電導衰退波形,并可聯用打印機及計算機。
4.配置兩種波長的紅外光源:
    a.紅外光源,光穿透硅晶體深度較深≥500μm,有利于準確測量晶體少數載流子體壽命。
    b.短波長紅外脈沖激光器,光穿透硅晶體深度較淺≈30μm,但光強較強,有利于測量低阻太陽能硅晶體。
5.測量范圍寬廣測試儀可直接測量:
    a.研磨或切割面:電阻率≥0.3Ω?㎝的單晶硅棒、定向結晶多晶硅塊少子體壽命,切割片的少子相對壽命。
    b.拋光面:電阻率在0.3~0.01Ω?㎝范圍內的硅單晶、鍺單晶拋光片。
壽命可測范圍:0.25μS—10ms

 

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