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Huace-6 系列中端探針臺可兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動 ；
可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
Huace-6 中端探針臺
產(chǎn)品簡介：
探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測點(diǎn)，從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用：
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等；
◆ 可用于8英寸以內(nèi)樣品測試；
◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動；
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動；
◆ 可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用；
技術(shù)參數(shù)：
臺體規(guī)格 | |
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) | 可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 4英寸×4英寸/6英寸×6英寸 |
X-Y移動精度 | 10μm/1μm |
樣品臺Z軸調(diào)節(jié) | 可升降10mm |
樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
針座平臺 | U型針座平臺，zuiduo可放置6個探針座 |
背電極測試 | 樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 | 400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高 |
設(shè)備重量 | 約20KG |
光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附，真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
針尖材質(zhì) | 鎢鋼；鈹銅 |
可選附件：
加熱臺；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；
屏蔽箱；
光學(xué)平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
高壓測試配件；
顯微鏡快速傾仰裝置；
激光系統(tǒng)；
探針卡夾具；
探針臺可根據(jù)客戶要求定制。