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產品簡介
詳細介紹
半導體材料真空探針臺電學性能測試系統
半導體材料真空探針臺電學性能測試系統產品參數：
腔體
型號：CGO-2
樣品臺尺寸：2英寸
樣品固定：樣品固定
觀察窗口：2英寸
真空度：10-6 torr
探針臂接口：最多6個探針臂接口
其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：液氮 / 液氦
控制方式：開循環手動
溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K
溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動精度：10μm / 1μm
光源：外置LED環形光源 / 同軸光源
CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素
探針座
X-Y-Z 移動行程：X-Y-Z 移動行程
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動精度：10μm / 1μm
探針夾具
線纜：同軸線 / 三軸線 / 射頻線
漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定
接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口
探針
射頻支持：DC-67GHZ
針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質：鎢鋼 / 鈹銅
真空組件：分子泵組 / 機械泵
冷源組件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機
外形重量：730mm×750mm×1265mm（長寬高） 約100kg
防震桌參數：
氣浮隔振防震桌
隔振方式:隔振方式
材質:不銹鋼 / 碳鋼
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:＜0.8μm
孔距:25×25mm
孔徑:M6
平臺尺寸（長寬):可定制
平臺厚度：50 / 100 / 200mm
固有頻率:.5Hz - 2Hz
支撐腿:氣浮支撐腿
支撐腿數量:4個 / 6個
支撐腿高度:800mm±10mm
其他:內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制
真空探針臺 外置探針臂