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屬于間接測量的真空計有哪些?

閱讀:1211          發布時間:2015-6-29

(1)壓縮式真空計:其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。

(2)熱傳導真空計:利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。

(3)熱輻射真空計:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關原理。

(4)電離真空計:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產生的離子流隨電力變化的原理。如:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。

(5)放電管指示器:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度,一般僅能作為定性測量。

(6)粘滯真空計:利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉子真空計。

(7)場致顯微儀:以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。

(8)分壓力真空計:利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質譜計、回旋質譜計和射頻質譜

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