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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 節流式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,石油,地礦,電子/電池 |
產品型號
HORIBA STEC SEC-400MK3 質量流量控制器
STEC SEC-400MK3 STEC SEC-500MK3
產品簡介
詳細介紹
HORIBA STEC SEC-400MK3 質量流量控制器
概要
MARK3系列是在未改變質量流量控制器的品質特性的條件下實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列**。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行生產、實現了成本降低。適合于定流量、長時間的穩定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
特征
- 搭載熱感閥
- 追求成本優勢、實現成本降低
規格
| SEC-400MK3 | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
| SEC-500MK3 | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316、氟化橡膠 |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范圍 | 5?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(滿量程) |
HORIBA STEC SEC-400MK3 質量流量控制器
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