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上海添時科學儀器有限公司

小型蒸鍍儀的操作包括以下基本過程

時間:2021-9-16 閱讀:1460
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小型蒸鍍儀的操作包括以下基本過程

 

小型蒸鍍儀是一種在真空條件下加熱蒸發容器中待蒸發材料的方法,以使原子或分子蒸發并從表面逸出以形成蒸氣流,進入基材或基材表面,然后凝結成固體膜。

  小型蒸鍍儀包括以下基本過程:

  (1)加熱蒸發過程:包括從冷凝相變為氣相的過程,并且每種蒸發物質在不同溫度下具有不同的飽和蒸氣壓。

  (2)氣態原子或分子在蒸發源和基質之間的傳輸,即原子或分子在周圍大氣中的飛行過程。

  (3)蒸發的原子或分子在基板表面上的沉積過程。即,蒸發,冷凝,成核,成核生長,形成連續的膜。由于基材的溫度遠低于蒸發源的溫度,因此氣態分子將直接經歷從基材表面上的氣態到固態的相變過程。
 

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  小型蒸鍍儀中有兩個不同用途的蒸發頭:它們用金屬箱蒸出以進行碳蒸發。注意:使用碳棒蒸發頭時,一根電極線連接到儀器背面的黑孔,一根電極線連接到紅色孔;使用金屬蒸發頭時,一根電極線連接到儀器背面的黑孔,一根電極線連接到綠色孔。

  1、將要濺射的基材放入氣相沉積設備的腔室中。

  2、根據所需的蒸發材料選擇金屬蒸發頭/鎢筐或碳蒸發頭,并按照儀器操作規程的里德規程安裝所需的蒸發材料。使用碳棒蒸發頭時,一根電極線連接到儀器背面的黑孔,一根電極線連接到紅色孔;使用金屬蒸發頭時,一根電極線連接到儀器背面的黑孔,一根電極線連接到綠色孔。

  3、按照儀器操作規則逐步操作儀器,實驗結束后取出樣品。由于長期使用會在腔室周圍沉積一層厚厚的涂層,因此請根據實際情況及時清潔腔室。但是,請勿使用有機試劑(如丙酮,乙醇等)清潔橡膠圈,以免由于老化而漏氣。關閉主機電源和原點。最后,切斷儀器的主電源并蓋上儀器。

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