三级片视频播放,精品三级片在线观看,A级性爱视频,欧美+日韩+国产+无码+小说,亲子伦XX XX熟女,秋霞最新午夜伦伦A片黑狐,韩国理伦片漂亮的保拇,一边吃奶一边做边爱完整版,欧美放荡性护士videos

上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

蒸發(fā)鍍膜儀的使用細(xì)節(jié)與操作規(guī)范

時(shí)間:2025-7-4 閱讀:87
分享:
  蒸發(fā)鍍膜儀是一種通過物理氣相沉積(PVD)技術(shù)在基底表面沉積薄膜的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。其核心原理是通過加熱蒸發(fā)源材料(如金屬、氧化物等),使其氣化后在基底表面冷凝成膜。為確保鍍膜質(zhì)量、設(shè)備穩(wěn)定性及操作安全性,需嚴(yán)格遵循以下使用細(xì)節(jié)與規(guī)范。
  一、設(shè)備組成與工作原理
  蒸發(fā)鍍膜儀主要由以下部分組成:
  1. 真空系統(tǒng):包括機(jī)械泵、分子泵及真空腔體,用于創(chuàng)造高真空環(huán)境(通常達(dá)10?³~10?? Pa),避免氣體分子干擾鍍膜過程。
  2. 蒸發(fā)源:采用鎢絲、鉬舟或電子束加熱,將鍍料(如金、銀、鋁等)氣化。
  3. 襯底加熱器:可調(diào)節(jié)基底溫度,控制薄膜結(jié)晶形態(tài)。
  4. 控制模塊:集成真空度、溫度、蒸發(fā)電流等參數(shù)的實(shí)時(shí)監(jiān)控與調(diào)節(jié)。
  5. 冷卻系統(tǒng):保護(hù)分子泵并維持腔體溫度穩(wěn)定。
  二、操作前準(zhǔn)備
  1. 清潔腔體:
  - 用無水乙醇擦拭真空腔內(nèi)壁,去除殘留油脂或雜質(zhì)。
  - 檢查密封橡膠圈是否老化,必要時(shí)更換。
  2. 安裝樣品與鍍料:
  - 基底需超聲清洗(如丙酮、乙醇各10分鐘),干燥后放入襯底架,確保表面無指紋或污漬。
  - 鍍料需切割成小塊(約1~5 mm),均勻放置于鎢舟或鉬舟中,避免堆疊。
  3. 檢查氣路與電路:
  - 確認(rèn)機(jī)械泵油位正常(通常為油窗1/2~2/3處),分子泵軸承潤(rùn)滑良好。
  - 檢查電氣連接是否牢固,緊急停止按鈕功能正常。
  三、操作步驟與參數(shù)控制
  1. 抽真空:
  - 關(guān)閉腔體閥門,啟動(dòng)機(jī)械泵預(yù)抽至低真空(<10 Pa),隨后開啟分子泵。
  - 當(dāng)真空度達(dá)到10?³ Pa以下時(shí),可開始加熱蒸發(fā)源。
  - 注意:若真空度上升異常,需檢查密封性或重啟分子泵。
  2. 預(yù)熱與參數(shù)設(shè)置:
  - 設(shè)定襯底溫度(通常為室溫至300℃),預(yù)熱10~15分鐘以穩(wěn)定熱場(chǎng)。
  - 調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流:從低電流(如10~20 A)逐步增加,避免瞬間過熱導(dǎo)致鍍料飛濺。
  3. 蒸發(fā)鍍膜:
  - 緩慢升高電流至鍍料熔化(如鋁需約80~100 A),保持恒定蒸發(fā)速率。
  - 通過石英晶體振蕩器或光學(xué)監(jiān)控(如反射率變化)實(shí)時(shí)觀測(cè)膜厚,典型沉積速率為0.1~1 nm/s。
  - 關(guān)鍵點(diǎn):蒸發(fā)源與基底的距離需根據(jù)材料特性調(diào)整(通常5~10 cm),過近易造成薄膜應(yīng)力過大,過遠(yuǎn)則效率低。
  4. 冷卻與取樣:
  - 鍍膜完成后,先關(guān)閉蒸發(fā)電源,待腔體冷卻至100℃以下時(shí)關(guān)閉分子泵。
  - 緩慢充入惰性氣體(如氬氣)至常壓,取出樣品并轉(zhuǎn)移至干燥器中保存。
  四、注意事項(xiàng)與常見問題
  1. 防止污染:
  - 嚴(yán)禁用手直接接觸基底或鍍料,需佩戴無塵手套操作。
  - 腔體內(nèi)禁止使用油性工具,避免交叉污染。
  2. 參數(shù)敏感性:
  - 真空度不足會(huì)導(dǎo)致薄膜氧化或摻氣,需定期更換真空泵油。
  - 蒸發(fā)電流過高可能使鍍料噴濺,形成“顆粒缺陷”;過低則沉積速率慢,易引入雜質(zhì)。
  3. 薄膜均勻性控制:
  - 基底需自轉(zhuǎn)或公轉(zhuǎn)以實(shí)現(xiàn)均勻沉積,轉(zhuǎn)速通常為10~60 rpm。
  - 多源蒸發(fā)時(shí)需調(diào)整源位置與功率,避免厚度梯度差異。
  4. 安全風(fēng)險(xiǎn):
  - 高溫部件(如鎢舟)可能引發(fā)燙傷,操作時(shí)需使用隔熱鉗。
  - 突然斷電時(shí),立即關(guān)閉分子泵電源,防止反灌損壞。
  五、設(shè)備維護(hù)與故障處理
  1. 日常維護(hù):
  - 每次使用后清理腔體,涂抹適量抗氧化劑(如凡士林)保護(hù)金屬部件。
  - 每月檢查分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)噪音與振動(dòng),必要時(shí)更換軸承。
  2. 典型故障排除:
  - 真空度不達(dá)標(biāo):檢查密封圈、更換擴(kuò)散泵冷阱內(nèi)的吸附劑。
  - 薄膜剝落:基底溫度過低或清潔度不足,需提高預(yù)熱溫度或延長(zhǎng)超聲清洗時(shí)間。
  - 厚度不均:調(diào)整蒸發(fā)源角度或增加基底旋轉(zhuǎn)速度。

會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
撥打電話 產(chǎn)品分類
在線留言
主站蜘蛛池模板: 青海省| 寿阳县| 神池县| 西贡区| 资中县| 定远县| 西乌珠穆沁旗| 南投市| 泸州市| 理塘县| 饶阳县| 重庆市| 陆丰市| 资中县| 定远县| 肃宁县| 南岸区| 太和县| 旬邑县| 漳平市| 西藏| 博爱县| 芷江| 拉孜县| 桂东县| 榆中县| 平泉县| 济源市| 三亚市| 黔江区| 原阳县| 华安县| 康平县| 大名县| 通城县| 新乡市| 偃师市| 浙江省| 黔江区| 马龙县| 四子王旗|