產(chǎn)品特點：

雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。 
因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。 

技術(shù)參數(shù)：

開啟式管式爐 
工作溫度：1200℃ 
爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用 
溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 
加熱區(qū)長度：440mm 
恒溫區(qū)長度：150mm 
功率：AC 220V 4KW 
等離子射頻電源 
輸出功率：50-500W大可調(diào)±1%的穩(wěn)定性 
RF頻率：2-150MHz的±0.005%穩(wěn)定可調(diào) 
噪聲：≤55DB 
冷卻：空氣冷卻 
輸入功率：1KW AC 220V 
真空泵和閥門 
采用KF25系列波紋管和精密球閥連接 
真空度可達(dá)10-3torr 
數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值 
質(zhì)量流量計 
內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量 
氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02% 
一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況 
不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入的數(shù)量 
進(jìn)氣口：采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭

外型尺寸：

爐體：550*380*520mm 
供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm 
凈重：120KG

產(chǎn)品證書：CE認(rèn)證