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技術文章

還原爐霧化導致硅芯脫落的原因

閱讀:353          發布時間:2025-4-14

一、硅芯氧化

在硅材料的生產過程中,硅芯在還原爐里是一個關鍵部件,然而它很容易受到氧化作用的影響。當硅芯表面存在氧化物時,情況會變得較為復雜。還原爐中使用的霧化氣流,在接觸到有氧化物的硅芯表面后,會形成一個個氣泡。這些氣泡并非均勻分布,而是會在某些區域聚集,使得硅芯表面原本就可能存在的微小缺陷進一步加大。隨著缺陷的不斷累積和擴展,硅芯與周圍結構的結合力逐漸減弱,最終導致硅芯脫落。

為了有效減少硅芯氧化現象,可以采用氮氣作為霧化氣體。氮氣是一種化學性質穩定的氣體,它能夠在硅芯表面提供惰性氣體氛圍。在這種氛圍下,硅芯表面與氧氣等氧化性物質的接觸機會大大減少,從而降低了氧化物產生的可能性,保障了硅芯的穩定性和完整性。

二、還原爐內氣體成分

還原爐內氣體成分同樣是影響硅芯穩定性的一個重要因素。還原爐中的霧化氣體成分必須保持穩定,并且需要充分混合。只有氣體成分穩定且混合均勻,才能保證硅芯表面的氣泡均勻分布,避免因氣泡分布不均而產生的應力集中,進而防止硅芯脫落。


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