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技術(shù)文章

硅片燒結(jié)升降爐原理

閱讀:336          發(fā)布時(shí)間:2025-4-17

邦世達(dá)硅片燒結(jié)升降爐的原理基于精準(zhǔn)溫控、氣氛調(diào)控與機(jī)械升降的協(xié)同作用,專為硅片燒結(jié)工藝設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的材料處理。

1. 溫控系統(tǒng)

采用PID智能溫控儀表,可預(yù)設(shè)多段升溫、恒溫、降溫程序,溫度控制精度達(dá)±1℃。通過硅碳棒或硅鉬棒加熱元件,配合雙層爐殼風(fēng)冷系統(tǒng)及輕質(zhì)保溫材料,確保爐內(nèi)溫度均勻性,滿足硅片燒結(jié)對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

2. 爐體升降結(jié)構(gòu)

電動(dòng)環(huán)狀銷輪減速器驅(qū)動(dòng)爐體沿內(nèi)外軌道升降,裝卸料時(shí)爐體下降至低位,減少搬運(yùn)震動(dòng)對(duì)硅片的損傷;燒結(jié)時(shí)爐體上升至高溫區(qū),實(shí)現(xiàn)密閉環(huán)境下的均勻加熱。

3. 氣氛控制

通過氣體流量計(jì)向爐內(nèi)通入氮?dú)?、氫氣等保護(hù)氣氛,防止硅片氧化。高精度熱電偶實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)爐內(nèi)氣氛及溫度,確保燒結(jié)過程的氣體純度與溫度一致性。

4. 安全與自動(dòng)化

爐門開啟時(shí)自動(dòng)斷電,配備過流、限流、過熱保護(hù)功能,確保操作安全。支持程序化運(yùn)行,用戶可一鍵啟動(dòng)預(yù)設(shè)工藝,減少人工干預(yù),提升生產(chǎn)效率。

邦世達(dá)升降爐通過模塊化設(shè)計(jì),兼顧高溫穩(wěn)定性與操作便捷性,適用于半導(dǎo)體、電子陶瓷等領(lǐng)域的小批量生產(chǎn)與科研實(shí)驗(yàn)。


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