利用有機物如油，脂及表面活性劑等在紫外線照射下可激發熒光的特點可簡易可靠地檢測零件上的有機污染物，該系統采用三軸定位裝置，自動按照預設的路徑掃描零件表面，測量點每秒可達50次，測試結果以RFU (相對熒光單位)值顯示，測量值越大，污染越大。
表面清潔度儀可用于查出金屬表面諸如油漬、油脂、冷卻潤滑劑蠟以及有機粉塵等污染物，這種方法確保了需要表面涂裝、表面處理等深加工的金屬部件清潔度。
借助UV光源和感應器的共同作用，表面清潔度儀能快速量化測試結果，用于直接判斷零件表面干凈程度是否達到合格范圍。 通過量化后表面清潔度能夠協助穩定零部件加工過程中的清洗質量，從而有效避免產品表面油污導致附著力下降，焊接過程中虛焊、脫焊的現象的發生，保證最終的產品質量達到要求。
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