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瀏覽次數Siargo矽翔MF5712-G-250-B-C氣體質量流量計通迅資料下載
MF5700系列氣體質量流量計是基于矽翔微機電系統有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。
該流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態時，在傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布所產生的擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。下圖為該系列流量計的原理框圖。
