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自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G4

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G4由奧地利alicona公司研發生產，是一款用于實驗室研究和生產控制的高分辨率光學三維表面測量儀，它將形貌測量和粗糙度測量*地結合在同一個系統中，垂直分辨率達10nm。

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G4?的主要功能：

表面形貌測量

粗糙度測量

表面紋理測量

體積測量

二維圖像測量

重復性測量任務的編程操作

形狀測量

偏差測量

輪廓測量

刃口測量

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G4?的技術參數：

位移范圍(X、Y、Z軸)：100×100×100mm

樣品表面結構：表面形貌Ra＞10-15nm，Lc=2µm

zui大樣品高度：100mm-240mm

zui大樣品傾斜角：85°

zui大掃描高度：22mm

*垂直分辨率：10nm

zui大掃描面積：10000mm2

zui大單一掃描范圍：100mm

zui小測量粗糙度（Ra）：30nm

zui小測量粗糙度（Sa）：15nm

zui小測量半徑：1µm

zui小測量角度：20°

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G4?的主要特點：

能夠同時測量形貌和粗糙度
能夠測量小半徑和小角度
能夠測量超過80°的斜面
標準真實的顏色信息
提供360°的形狀和粗擦度測量
檢測具有不同表面特征的表面