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產品簡介
詳細介紹
基準級微壓活塞壓力計，提供微壓溯源性
FPG8601是基準級微壓活塞壓力計，解決了活塞式壓力計在微小壓力范圍內以極小的不確定度提供長期溯源性的需求。
優異的測量不確定度
該系統在表壓和絕壓模式下覆蓋的量程均為0（絕壓為0.5 Pa）～15 kPa（2.2 psi）。測量不確定度為讀數的±30 ppm與一個非常小的門限誤差的組合，足夠小以能夠校準量程低達130 Pa (1 Torr，0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr，0.05 in. H2O)的各種微壓傳遞標準。 DHI有一份完整的不確定度分析報告（請參見DHI技術文章 2090TN05）說明FPG8601的測量不確定度。該儀器的穩定度取決于碳化鎢活塞組和不銹鋼砝碼，所以FPG8601的校準間隔與傳統的活塞式壓力計相同，并沒有其它特殊的維護要求。除了的計量性能外，FPG8601還實現了全自動控制；合理的尺寸和重量，在典型的計量實驗室環境下均可正常工作，沒有額外要求。
支持表壓、絕壓和絕差壓測量
FPG8601支持三種不同的測量模式：
- 表壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”側連接在一起，并和環境大氣壓相同。
- 絕壓模式：FPG8601的下方壓力室被抽成真空，并用真空計測量殘留真空。這種模式用于校準密封絕壓的DUT。
- 絕差壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”測連接在一起并抽成真空。這種模式用于校準相對于真空的差壓被檢對象。
此外，FPG8601沒有特殊環境要求，可安裝在2m長的高質量實驗臺上。壓力控制器常常安裝在試驗臺下方。當需要使用絕壓功能時，需要考慮真空泵的位置。如果需要，可以隨系統提供定制的安裝臺。其工作環境要求為典型的計量實驗室環境
技術資料 | |
| 電源要求 | FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，zui大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，zui大70 VA |
| 正常工作溫度范圍 | 20～26 ℃ |
| 環境溫度穩定性 | 0.1 ℃/每分鐘，zui大變化率 |
| 重量 | FPG8601平臺：30 kg (66 lb) FPG8601 終端： 2 kg (4.4 lb) |
| VLPC壓力控制器 | 41 kg (90.4 lb) |
| 尺寸 | FPG8601平臺：53 cm 高×36 cm 寬×35 cm 深 FPG8601終端：12 cm 高×15 cm 寬×20 cm 深 VLPC 壓力控制器：31 cm 高×51 cm 寬×53 cm 深 |
| 系統控制器 | 運行FPG Tools，Windows操作系統， RS232和 IEEE-488 接口，用于采集FPG 和 DUT 的數據 |
| 全壓力量程 | 0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓 |
| 測試介質 | 氮氣或空氣 |
| 模式轉換時間 | 絕壓至表壓模式：30分鐘 表壓至絕壓模式：1小時 |
| 振動 | 與傳統的活塞式壓力計相同，真空泵必須用軟管連接 |
| 壓力供給 | 活塞－套筒潤滑氣(FPG8601)：700～800 kPa，清潔、干燥的氮氣或空氣 |
| FPG參考真空（絕壓模式）：渦輪泵：典型值為378 m3/h，極限壓力為8.10-6 Pa | |
| 回轉式葉片泵：16.5 m3/h，極限壓力為0.2 Pa | |
| VLPC壓力源：700～800 kPa，清潔、干燥的氮氣 | |
| VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa | |
| 驅動氣（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa 壓縮空氣 | |
| 壓力連接 | 測試高（FPG8601）：KF16 測試低（FPG8601）：KF16 真空參考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驅動/潤滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 壓力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驅動（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25 |
壓力測量 | |
| 全量程 | 0～15 kPa 表壓、絕壓、絕差壓 |
| 溫度影響 | 監測儀器溫度，并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時，發出報警。 |
| 分辨力 | 標準：0.010 Pa 高分辨力選件：0.001 Pa |
| 典型壓力測量 不確定度 | 標準： 表壓、絕差壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數) 絕壓模式：± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數) |
| 高分辨力選件： 表壓、絕差壓模式：± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數) 絕壓模式：± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數) | |
| 模式下的典型殘留真空 | 用渦輪分子泵：0.04～0.1 Pa 用回轉式葉片泵：0.3 Pa～0.4 Pa |
壓力控制 | |
| 控制范圍（Pa） | 表壓模式：5個交疊的控制范圍 zui小壓力：0 zui小受控壓力：0.1 Pa |
| 絕壓模式：5個交疊的控制范圍 zui小壓力：0.4～1 Pa zui小受控壓力：2 Pa | |
| 控制精度 | 標準： 表壓模式：± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力選件： 注：控制精度為zui差情況。絕壓模式在較低范圍時的常數更小。 |
| 標稱測試容積 | 表壓模式：zui高20 cc/側（高和低） 絕壓模式：zui高500 cc/側（高和低） 壓力穩定時間：1～2分鐘，取決于測試容積 |
活塞模塊 | |
| 標稱尺寸 | 直徑：35 mm 面積：10 cm2 |
| 活塞材料 | 碳化鎢 |
| 套筒材料 | 碳化鎢 |
| 安裝系統 | 非旋轉，獨立自定心，中央供氣，潤滑壓力 |
| 活塞－套筒間隙 | 對稱圓錐形間隙，雙錐形，在中央潤滑點為6微米，在活塞末端為1微米 |
| 潤滑氣體質量 | 清潔、干燥的氨氣或空氣，內部調整為40～70 %相對濕度 |
| 潤滑氣體壓力 | 表壓模式：40 kPa表壓 絕壓模式：40 kPa 絕壓 潤滑氣流量：< 1 sccm 至高和低壓力室 |
輔助測量 | |
| 活塞－缸體溫度(℃) | 范圍：0～40 分辨率：0.01 不確定度：± 0.1 |
| 殘留真空(Pa) | 范圍：0 ～ 13 分辨率：0.001 不確定度：± (0.5 % 讀數 + 5 MPa) |
監控測量 | |
| 潤滑氣體溫度(℃) | 范圍：0 ～ 40 分辨率：0.1 不確定度：± 0.2 |
| 潤滑氣壓力(kPa) | 范圍：0 ～ 200 絕壓 分辨率：0.001 不確定度：± 0.1 |
| 潤滑氣濕度(%RH) | 范圍：5 ～ 95 分辨率：1 不確定度：± 10 |
| FPG8601-SYS | 具有標準分辨率的微壓塞式壓力計系統 |
通用配件:
| 配件 | 描述 |
|---|---|
| FPG8601-MODE-V-REF | 真空參考模式 |
| MS-8601-2 | 2.0kg 砝碼套件，帶掛鉤 |
| BENCH-8601-ABS | FPG8601工作臺 |
| FPG8601-RES-HIGH | 高分辨率 (1 mPa) |