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J-50MUV-248 能量傳感器采用 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器來(lái)提高最大能量密度。該傳感器直接校準(zhǔn)在 248 nm，并包括從 193 nm 到 266 nm 的光譜補(bǔ)償。用于測(cè)量高達(dá) 200 pps 的 800 µJ 至 1J 的激光脈沖，USB 接口。

J-50MUV-248介紹

帶有 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器的熱釋電能量傳感器，用于測(cè)量高達(dá) 200 pps 的 800 µJ 至 1J 的激光脈沖。USB 接口。

主要特點(diǎn)

● 193 至 266 nm 光譜范圍

● 有效區(qū)域直徑 50 毫米

● 800 µJ 至 1J 能量范圍

● 200 pps 重復(fù)率操作

● 直接 USB 接口

● 已獲得 ISO 17025 認(rèn)證

J-50MUV-248 能量傳感器采用 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器來(lái)提高最大能量密度，并針對(duì) 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接校準(zhǔn)在 248 nm，并包括從 193 nm 到 266 nm 的光譜補(bǔ)償。

EnergyMax-USB J-50MUV-248 能量傳感器端接在 USB 電纜上，可直接與 PC 連接。

可以使用大型散熱器 (PN 1123432) 來(lái)通過(guò)增加平均功率能力來(lái)擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)率。

J-50MUV-248規(guī)格

型號(hào)	J-50MUV-248 帶擴(kuò)散器
電纜類型	USB
有效面積直徑	50 mm
探測(cè)器涂層	MaxUV
能量范圍	800 µJ to 1J
波長(zhǎng)范圍	190 nm to 266 nm
噪聲等效能量	<80 µJ
最大平均功率（W）	15
最大脈沖寬度（µs）	86
最大能量密度（毫焦耳每平方厘米）	200（193 nm，10 ns）
擴(kuò)散器	Yes
校準(zhǔn)不確定度（%）（k=2）	±3
能量線性 (%)	±3
校準(zhǔn)波長(zhǎng)（nm）	193
電纜長(zhǎng)度（m）	3

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