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X射線管發出X射線照射樣品，樣品中所含的原子則向外發射原子*的X射線。這種X射線被稱為熒光X射線，各元素具有特定的波長（能量）。因此，通過檢測X射線的波長就能夠進行定性分析。另外，熒光X射線的強度與濃度具有函數關系，檢測每個元素X射線特征波長的X射線量就能進行定量分析。
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