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硅單晶棒射線定向儀 單工位硅單晶棒定向測量儀 偏晶向角度值測定儀
型號DL06-YX-6D
用途:該儀器專門用硅單晶棒定向測量,與我公司生產的YX-5Z/6Z及多線切割設備配套使用,zui大特點是,測量晶向后直接計算出晶棒的偏轉角,X和Y值,并對偏晶向的要求可進行準確計算出偏晶向的角度值。
結構:該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數據打印、角度
顯示、峰值強度表等組成。計算軟件采用通常算法,以度為單位,顯示zui小精度0.001度,測量精度±0.008度(±30′),能夠測量直徑4~10英寸,長500㎜,測量晶面為111、100等。
型號:HB.36-YX-6D為單測角儀,定向計算。YX-6DA為單測角儀,定向計算。全封閉防護罩。
主要指標
電源220V50HZ
功率0.5KW
管電壓30KVP
管電流0-5mA
晶棒直徑3~12英寸
晶棒長度500㎜
測量晶面111、100
定向精度0.008度(±30″)
zui小讀數0.001度
射線窗口電磁腳踏光閘
計算角度α與β(X與Y)
尺寸長380×寬950×高120
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