真空泵所構成的材料大多為鑄鐵、銅、鋼、不銹鋼及其他合金材料，這些材料的缺點是不耐化學性氣體、液體的腐蝕，造成真空泵故障頻繁，維護保養工作量大，使用壽命短。現有的金屬件表面防腐方法有：鍍鎳磷合金、鍍特氟龍、噴涂不銹鋼粉末；這些表面鍍層的缺點是：鍍層結合力差，易脫落，孔隙腐蝕嚴重，有效防腐周期短，因此，表面處理無法*解決真空泵抽吸腐蝕性氣體的問題。
如何選擇是適合自己的耐腐蝕真空泵
一、腐蝕種類多種多樣，化學、電化學腐蝕和物理腐蝕并存
首先，真空泵大多是用金屬材料制作而成，而金屬耐腐蝕卻是天然的弱勢，引用《腐蝕手冊》的話來說，腐蝕是材料在環境的作用下引發的破壞，其種類多種多樣。在泵運行環境下，金屬材料要受到化學、電化學、物理多種交叉腐蝕，而且一個都不少。
物理腐蝕指的主要是氣蝕，氣蝕發生在高流速液體，并有壓力變化的環境中。氣泡破滅時產生沖擊波壓力，可以撕裂金屬粒子，引發設備變形。無論您選用哪一種材料的真空泵，如果前期選型出現錯誤的話，選擇抽氣量過大的真空泵，或者后期使用過程中操作不當，都會出現氣蝕！
二、泵內介質高流速加速腐蝕
用碳鋼管道輸送濃度為7%的硫酸，管道流速為0.0007~0.0026m/s，碳鋼管道可以長期耐受腐蝕，而碳鋼泵輸送同樣的硫酸，泵的使用壽命僅僅為72小時，因為碳鋼泵流速已經高達23.08m/s (1500rpm)，高流速會加速腐蝕速率！某一種材料耐酸性較好，也僅僅是指在靜態浸泡條件下的腐蝕速率，與真空泵高流速工況條件的腐蝕速率，還是存在相當大的差異的！
三、泵內升溫會加速腐蝕
真空泵長期運行后，自身的機械運轉會產生熱能，抽取的氣體也會帶來熱量，某些情況下，泵腔內部的工作液也會產生汽化熱，所以，真空泵升溫也是不可避免的。我們以硫酸對灰鑄鐵腐蝕為例，每增加10℃，硫酸腐蝕灰鑄鐵速率增加一倍。
四、濃度變化也會影響腐蝕效率
在溫度不變的情況下，介質濃度的變化對腐蝕速率可能是加速或減速。減速主要原因是有的金屬會產生鈍化膜，從另一個方面來說，金屬靠鈍化膜防腐是有很大局限性的，必須在一定濃度范圍之內，或者是某一類酸，比如，硫酸濃度增加，灰鑄鐵耐腐蝕性是增強的，而鹽酸濃度增加，不銹鋼316L的耐腐蝕性反而變弱。
五、工況條件的復雜性
它們僅僅是腐蝕種類多、高流速、溫度和濃度加速腐蝕的基本條件，但在實際應用中，你要抽的氣體含有的介質，每一家化工單位的工況都與眾不同，包羅萬象，各有特色。
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