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激光共聚焦顯微鏡在膜厚三維形貌測量中是如何提高工作效率的？
需要在高度方向上做掃描，得到一系列的切片圖，然后進行圖像疊加并得到三維圖像，從而提高景深范圍。相對于傳統的光學顯微鏡，激光共聚焦顯微鏡其橫向分辨率提高40%以上，可達120nm。激光共聚焦顯微鏡樣品適用性強，非接觸測試，無需樣品制備和導電性處理，對樣品無損傷（粉末、軟性樣品以及透明樣品均可測試）。激光共聚焦顯微鏡豐富的測量結果，高分辨二維及三維成像、多種二維及三維顯示結果對比、大面積圖像拼接、非接粗糙度測量、膜厚測量、熒光分析等。簡便的操作及維護，激光共聚焦顯微鏡無昂貴的耗材、模塊化設計、人性化的操作軟件、自動校正程序等。
激光共聚焦顯微鏡在提高有效信號的基礎上，大大降低噪音信號，使得高質量的熒光圖像成為可能。利用“對焦（焦點）時反射光量大”這一共焦原理的顯微鏡測量精度，會受到正確讀取反射光量峰值的能力的較 大影響。構成共焦光學系統的方式有很多。有些形狀測量激光顯微系統所采用的“針孔共聚焦方式”。針孔共聚焦方式是在光接收元件的前面設計了針孔。針孔的直徑僅為數十μm，其功能是在不對焦時切斷反射光。，通常的光學系統和激光共焦點光學系統的反射光均會進入光接收元件。觀察“未對焦時”，通常光學系統的反射光（焦點模糊光線）會進入光接收元件，但激光共焦點光學系統的反射光（焦點模糊光線）則會被針孔切斷。即只有在對焦時反射光才會進入光接收元件，以此為依據構成共焦光學系統。
無論是材料表面形貌組織結構分析，還是表面輪廓度，激光共聚焦顯微鏡都可以呈現細節清晰、高襯度的圖像。增強靈敏度，減少背景噪音是激光共聚焦顯微鏡在應用的先決條件。激光共聚焦顯微鏡的靈敏度、杰出的降噪音技術和激發激光技術，也能保證輸出較好的結果。
激光共聚焦顯微鏡更少的機械運動，尤其是在光譜成像時，以及更穩定的設計，保證提供更快的、不間斷的令人信服的實驗結果。整合多個個檢測器在共聚焦中，可以可靠而無偏離的重現用戶的測量。平行光譜檢測可以在波長模式下同時讀出通道更多的的信號。另外，其特殊的采集模式可以將光譜分辨率大大提高。