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激光共聚焦顯微鏡如何獲取缺陷部分三維形貌信息
閱讀：2675 發布時間：2019-7-2
之于測量鋼體材料樣品, 使用肉眼可以看到表面有一些細微的小黑點, 假使我們采用金相顯微鏡觀察, 即使放大到大的倍數, 只能觀察到有黑色區域, 很難去區分黑點的形態。我們采用激光掃描共聚焦顯微鏡對此處缺陷進行測量觀察。首先采用普通光源觀察黑色小點, 將黑色小點移動至觀察區域, 再將光源轉換到激光部分, 利用激光對缺陷部分進行深度方向的逐層掃描, 得到缺陷處的三維形貌信息。結果顯而易見。很明顯黑色斑點是由一些小坑構成的。在經過坑的部位畫一條測量線, 如測量結果報告圖所示，測量線的高度信息所示坑的沿著測量線方向的大寬度、大深度等信息一目了然。當然還可以對其他有需要的缺陷處的多處尺寸分別進行測量。分析可知這些黑色的小斑點應該是鋼材加工過程中有異物壓入或者腐蝕留下的痕跡。
在缺陷分析過程中, 激光共聚焦顯微鏡充分發揮了其在三維形貌測量上的優勢, 在普通光學顯微鏡已經無法分辨的高度方向的信息時, 它*這一空白, 對其微觀形貌進行了三維分析, 并且得到了整個觀察區域在三維空間上的坐標, 對金屬材料表面黑色缺陷的來源分析起到了關鍵性作用。激光掃描共聚焦顯微鏡技術已發展得較為成熟, 在眾多領域都有廣泛的應用。而在金屬材料微觀觀察上, 激光掃描共聚焦顯微鏡具有很多優勢。他優于普通光學顯微鏡的分辨率及清晰度;對試樣和檢測環境要求低, 操作方便快捷, 可以做到無損檢測;可以對空間三維形貌進行掃描,直觀顯示觀察對象的三維形貌圖;可對諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等表面形貌信息進行測量。因此, 激光掃描共聚焦顯微鏡在金屬材料研發領域尤其是微觀組織形貌觀察上有著十分廣闊的應用前景。