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三維形貌儀的工作原理和應(yīng)用介紹
閱讀：943 發(fā)布時間：2023-6-15
三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器，除可以測量形貌及微觀結(jié)構(gòu)的表面外，還可以測量部件的粗糙度。機身框架和智能的光源使儀器的測量更快速，更容易。儀器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
工作原理：
照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
主要應(yīng)用領(lǐng)域有：
1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。