氧氮氫分析儀分析樣品在惰性氣流存在下于石墨坩堝中加熱熔融，其中脈沖爐溫度可自由設定，并通過一個非接觸式的光學溫度傳感器進行實時監控，用于實現樣品的*分解，反應所生成的混合氣體被載氣帶入到具有高穩定性和靈敏度的紅外和熱導檢測系統進行檢測。能夠使對固體無機材料中氧、氮、氫元素以及鋼鐵、金屬粉末、有色金屬、陶瓷、礦產等全量程范圍的快速準確測定得以實現。在使用氧氮氫分析儀時，應注意的事項有：
1、氧氮氫分析儀在初次啟用前，使用鋼刷對熔樣室進行清理，使用毛刷對樣品室進行清掃，將異物從樣品室內清理出去。應該對連接點、焊點、閥門等進行檢漏，以確保空氣中的氧不會反滲進入管道及儀器內部，造成測量數值偏高。
2、再次使用儀器前，要進行管道系統凈化，將漏入的空氣除干凈，同時確保連接取樣管路時沒有漏入空氣。
3、樣氣中氧含量的變化會受管道材質及表面粗糙度影響，因此一般連接管路選用銅管或拋光過的不銹鋼管，而不用塑料管、橡膠管等。
4、微量元素分析時，要避免各種管件、閥門、表頭等死角對樣氣造成污染，因此必須盡可能的簡化氣路系統，連接件死角要小，以防止溶解氧逸出造成污染，使用水封、油封及臘封等設備，才能較好的確保數據的。
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