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關(guān)于高溫壓痕儀的應(yīng)用和特點(diǎn),以下有詳細(xì)說(shuō)明

閱讀:2260        發(fā)布時(shí)間:2021-11-25
  高溫壓痕儀是一種用于物理學(xué)領(lǐng)域的物理性能測(cè)試儀器,它主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量,可以測(cè)定材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性。
 

 

  主要應(yīng)用:
  1、半導(dǎo)體技術(shù):鈍化層、鍍金屬、Bond Pads;
  2、存儲(chǔ)材料:磁盤(pán)的保護(hù)層、磁盤(pán)基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層;
  3、光學(xué)組件:接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層;
  4、金屬蒸鍍層;防磨損涂層:TiN,TiC,DLC,切割工具;
  5、藥理學(xué):藥片、植入材料、生物組織;
  6、工程學(xué):油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS等行業(yè)。
 
  高溫壓痕儀的特點(diǎn):
  1、采用壓電致動(dòng)器的載荷裝置保證測(cè)量的精確度;
  2、壓電致動(dòng)器作為壓痕測(cè)試的精密驅(qū)動(dòng)加載,可大行程壓痕驅(qū)動(dòng);
  3、壓痕測(cè)試模塊具有良好的重復(fù)性和測(cè)試精度;
  4、載荷加載范圍可實(shí)現(xiàn)1N~200N載荷的加載;
  5、溫度加載范圍可實(shí)現(xiàn)0℃~1200℃的變溫加載;
  6、溫度控制精度可達(dá)到±1℃;
  7、使用高溫爐給壓頭和試件同時(shí)加熱,保證二者溫度盡可能一致,減小溫度漂移對(duì)位移測(cè)量的影響;
  8、配備控制主機(jī),專(zhuān)用檢測(cè)控制系統(tǒng)與配套分析處理軟件;
  9、軟件包括測(cè)試過(guò)程中實(shí)時(shí)測(cè)量載荷和位移值、生成載荷位移曲線等;
  10、可測(cè)量壓入載荷-壓入深度曲線、殘余壓深、最大壓深、材料硬度、彈性模量、斷裂韌性、接觸剛度等。

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