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修復雙重圖形誤差的途徑.切割和縫合

閱讀:609        發布時間:2018-9-4

雙重圖形(DP)是指將單層IC版圖分解成兩個光罩,在此過程中,有許多多邊形配置可能會導致違反DP設計規則。其中一些錯誤可藉由增加多邊形之間的間距進行修復。然而有些DP錯誤,像奇數圈 (odd cycle)的誤差,可能難以修復。如果你的版圖通過一種類似手術的修正方式,在關鍵節點進行切割來解決DP錯誤,那么就會變得非常簡單。

這種修正技術稱為“切割和縫合”(cutting and stitching),通常只將其稱為縫合。讓我們來看一下它的工作原理。圖中給出了一對無法正確分解成兩個光罩的典型版圖配置。

左邊上面一行顯示了一個與其本身有小間距問題的單個多邊形。換言之,被高亮顯示的小間距在多邊形的邊緣之間是不允許的,除非多邊形的邊屬于不同光罩。因為所有涉及小間距的多邊形的邊均位于同一多邊形上,所以其必須位于相同的光罩上。修正方案是增加這些間距,這就需要更多的設計區域。左下行顯示了一個奇數圈錯誤。這三個多邊形無法拆解成兩個光罩,因為用二除三時,一定會存在余數。

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