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激光調阻系統及修調技術機理

閱讀:753        發布時間:2015-12-26

為了提高厚膜電路的精度,必須進行阻值調整。由于厚膜絲網印刷操作固有的不準確性,基板表面的不均勻及燒結條件的不重復性,厚膜電阻常出現正負誤差,如果阻值超過標稱值將無法修正,但是,一般情況下印刷燒成后阻值低于目標值的大約30%,所以要通過激光調整達到目標值。 

激光調阻系統及修調技術機理 

激光修調是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上,使工件待調部分的膜層氣化切除以達到規定參數或阻值。調阻時局部溫升使玻璃熔化,氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋,可填平基體表面被切割的介質。 

*的激光修調系統應用了大量的LSI、VLSI電路,以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復及測量等系統相連接。測量系統由采用精密電橋和矩陣組合的無源網絡組成。 

*的激光修調系統具有多種修調功能,可以修調混合集成電路、厚薄膜電阻器網絡、電容網絡、瓷基薄膜集成元件,還可以修調D/A和A/D轉換器的精度,V/F轉換器的頻率,有源濾波器的零點頻率及運算放大器的失調電壓等。同時還具有IEEE488接口,可與其他測試設備進行數據傳輸。 

切割圖形 

激光調阻時,被切割的電阻體圖形主要有以下幾種: 

(1)單刀切割電阻法 
(2)雙刀切割電阻法 
(3)L型刀口切割電阻法 
(4)交叉對切電阻法 
(5)曲線型L刀口的切法 
(6)曲線型U型刀口的切法 

在實際工作中,主要應用的是前4種,對于不同的電阻應根據其方數的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口zui為常用,而且調過的阻值穩定性好

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