氧氣分析儀采用進口電化學、離子流、氧化鋯或磁氧傳感器，結合新型單片機技術研發而成的新型智能化工業氣體分析儀。利用測里面的微量氧可反推的氬氣純度。
其原理是利用煙氣組分中氧氣的磁化率特別高這一物理特性來測定煙氣中含氧量。氧氣為順磁性氣體(氣體能被磁場所吸引的稱為順磁性氣體)，在不均勻磁場中受到吸引而流向磁場較強處。在該處設有加熱絲，使此處氧的溫度升高而磁化率下降，因而磁場吸引力減小，受后面磁化率較高的未被加熱的氧氣分子推擠而排出磁場，由此造成“熱磁對流”或“磁風”現象。在一定的氣樣壓力、溫度和流量下，通過測量磁風大小就可測得氣樣中氧氣含量。
氧氣分析儀的使用注意事項：
氧氣分析儀按照原理不同，一般可分為三類:燃料電池法氧分析儀、氧化鋯法的氧化鋯傳感器、磁氧分析儀。氧分析儀器在使用中有很多注意事項，否則極易出現分析結果不確等問題。
1、氧氣分析儀在初次啟用前，應該對連接點，焊點，閥門等進行檢漏，以確保空氣中的氧不會反滲進入管道及儀器內部，造成測量數值偏高。
2、再次使用儀器前，要進行管道系統凈化，將漏入的空氣吹除干凈，同時確保連接取樣管路時沒有漏入空氣。
3、樣氣中氧含量的變化會受管道材質及表面粗糙度影響，因此一般連接管路選用銅管或拋光過的不銹鋼管，而不要使用塑料管，橡膠管等。
4、微量分析時，要避免各種管件，閥門，表頭等死角對樣氣造成污染，因此必須盡可能簡化氣路系統，連接件死角要小。威力防止溶解氧逸出造成污染，好使用水封，油封及臘封等設備，才能確保數據確。
