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工作原理是利用旋片在泵腔內旋轉，將氣體吸入并排出。具有體積小、重量輕、噪音低、啟動快等優點。

適用于對真空度要求較高、抽氣速率相對較小的場合，如實驗室、電子工業中的真空鍍膜、真空干燥等。但不適用于抽除含大量水蒸氣或腐蝕性氣體的場合。

通過活塞在氣缸內的往復運動來抽氣，結構簡單，維修方便，能夠獲得較高的真空度。

常用于抽氣量較大且對真空度要求較高的場合，如真空冶煉、真空蒸餾等。不過，其運行速度較慢，體積較大，且振動和噪音相對較大。

利用葉輪旋轉形成水環，通過水環與葉輪之間容積的變化來抽氣。可以抽除含有大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，工作過程中氣體不會被油污染，具有結構簡單、運行穩定、操作維護方便等特點。

廣泛應用于化工、制藥、造紙、食品等行業，尤其適用于需要在較高真空度下處理含有水蒸氣的氣體的場合，如真空蒸發、真空結晶等。但它的效率相對較低，能耗較高。

由兩個同步旋轉的羅茨轉子組成，通過轉子間的間隙來輸送氣體，具有抽氣速率大、啟動快、能在較低壓力下工作等優點。

通常用于高真空系統中，作為前級泵與其他真空泵配合使用，以提高系統的抽氣速度和極限真空度，如在電子束焊、真空鍍膜等領域應用廣泛。但它不能單獨在大氣壓下工作，需要與前級泵串聯使用。

利用一對螺桿在泵腔內的旋轉來實現抽氣，具有抽速大、真空度高、對被抽氣體中的灰塵和水蒸氣不敏感等優點，且運行平穩，噪音低，維護成本低。

適用于對真空度要求較高、對氣體品質要求較嚴格的場合，如半導體制造、制藥、化工等行業的真空工藝過程。尤其在處理含有一定量粉塵或水蒸氣的氣體時，具有明顯的優勢