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更新時(shí)間：2025-06-10 10:02:48
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AMC在線監(jiān)測離子遷移譜
EDK 4500
AMC在線監(jiān)測離子遷移譜技術(shù)具有靈敏度高（ppb范圍）、響應(yīng)速度快（毫秒范圍）、結(jié)構(gòu)緊湊、可在大氣壓下操作以及能分離異構(gòu)體等優(yōu)點(diǎn)。在這篇簡短的報(bào)告中，我們展示了使用IMS檢測氯化氫（HCl）和氟化氫（HF）的靈敏度和快速響應(yīng)。
關(guān)鍵詞：離子遷移譜IMS，總酸銨根監(jiān)測，磷酸根檢測，AMC在線監(jiān)測，痕量氯化氫氟化氫監(jiān)測
HCl和HF是摩爾質(zhì)量為36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。鹽酸和氫氟酸是醫(yī)藥、高分子、石油化工等工業(yè)中的重要化合物。這兩種化學(xué)物質(zhì)在半導(dǎo)體工業(yè)中也很重要。在許多半導(dǎo)體應(yīng)用中，需要在低ppb水平下監(jiān)測HCl和HF的存在。
采樣點(diǎn) | 1-16-30-45 |
分析設(shè)置 | EIMS可檢測的NH3、HCl、HF、VOC和其他 |
標(biāo)準(zhǔn)范圍 | 0-50，0-100 ppb |
采樣管的最大長度 | 130米 |
設(shè)備條件 | 干燥壓縮空氣，110-115-230 Vac 50/60 Hz |
通訊接口 | 以太網(wǎng)端口、Modbus、Profibus |
安裝 | 19" 機(jī)架安裝 |
摻雜物 | 取決于檢測到的氣體 |
軟件用戶界面 | 內(nèi)置控制軟件 |
操作溫度 | 5-45℃ |
尺寸 | 機(jī)架19"4U L 500mm |
重量 | 取決于配置 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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