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天津綜科科技有限公司
主營產品： 粉塵中游離二氧化硅檢測儀,精密光學平臺,TJ270-30A紅外分光光度計 |
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主營產品： 粉塵中游離二氧化硅檢測儀,精密光學平臺,TJ270-30A紅外分光光度計 |
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郭（同）
RTS-4四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
RTS-4四探針測試儀軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析
RTS-4四探針測試儀技術指標
測量范圍
電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；
電導率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω；
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源：電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調
數字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差 (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
軟件功能（選配）軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，并統計分析測試數據zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
計算機通訊接口：并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5秒
標準使用環境 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；
天津綜科科技有限公司專業生產(供應)銷售紅外分光光度計、粉塵中游離二氧化硅檢測儀、粉塵中游離二氧化硅測試儀、粉塵中游離二氧化硅分析儀、粉末壓片機、電動粉末壓片機、自動粉末壓片機、紅外壓片機、扣式電池封口機、全自動壓片機、進口紅外粉末壓片機、單沖壓片機、紅外壓片模具、進口紅外壓片模具、X熒光硼酸模具、鐵環模具、圓柱型開瓣模具、長方型開瓣模具、圓柱型電加熱模具、平板模具、紅外烘干箱、紅外烘烤箱、瑪瑙研缽器、溴化鉀粉末、溴化鉀碎晶、紅外可拆液體池、紅外固定液體池、紅外氣體池、溴化鉀窗片、氟化鈣窗片、硒化鋅窗片、氟化鋇窗片、紅外窗片、紅外/紫外/熒光石英比色皿、石英窗片、四探針測試儀、四探針金屬/半導體電阻率測量儀等系列產品,公司具有良好的市場信譽,專業的銷售和技術服務團隊生產經營紅外壓片模具系列多年經驗質量保證、*、售后服務周到是值得廣大客戶信賴的專業供應商。我公司長年與全國各大高校、研究所、研究院、藥廠等多部門企事業單位實驗室建立合作關系，受到廣大新老客戶的一直好評。
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