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公司動態

SMC新產品輯-XGTP系列平行密封型門閥

閱讀:1417          發布時間:2018-3-30

   SMC推出了一款XGTP系列平行密封型門閥。產品采用平行密封結構,可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔與傳輸腔之間的密封。

 產品參數
???◇ 長壽命:300萬次(常溫時)
???◇ 低發塵:發塵量減少到1/5以下(與舊型相比)
???◇ 省氣:耗氣量減少22%
???◇ 輕量:14kg(盒式)
???◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm
平行密封構造:門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封(L motion)構造,降低了摩擦系數,可大幅減少發塵量并延長使用壽命。

 

應用場合

半導體加工過程中,針對各工藝腔之間的隔離。

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