德國進口原裝BIRD油冷式終端8921適用范圍分析

德國進口原裝BIRD油冷式終端8921是一款高性能的射頻負載設備，專為現代等離子體工藝中的高精度射頻能量調控設計。

BIRD油冷式終端8921適用于需要精確射頻功率調節和控制的等離子體應用，如半導體制造、材料加工、航空航天以及國防等領域的高性能等離子工藝。

產品名稱：5千瓦超穩定油介質射頻終止負載

功率額定值：5千瓦

頻率范圍：從直流至28 MHz，部分型號可達1 GHz

最大電壓駐波比（VSWR）：1.1，名義VSWR低于1.05:1

阻抗：50歐姆（標稱值）

VSWR穩定性：在穩定性頻率13.56 MHz ± 10 kHz下，從0至100%額定功率變化小于0.1分貝

連接器：標配為“QC"型LC（女插頭）

可選配件：互鎖溫控開關，默認為常閉，溫度達到236°C（457°F）時打開

溫控開關額定值：115 VAC，10 A 或 230 VAC，5 A

溫度范圍：工作溫度+5至+40°C（+41至+104°F），儲存溫度–40至+45°C（–40至+113°F）

海拔高度：1520米（5000英尺）

濕度：最高95%非冷凝

冷卻方式：油介質和自然對流冷卻

尺寸：32.8" x 9.5" x 26.9"（832 x 241 x 681毫米）

重量：126磅（57千克）

BIRD油冷式終端8921以其優秀的穩定性與精確度，有效地解決了在復雜等離子應用場合中對過程重復性和一致性的高度需求。

產品避免了負載預熱階段和由于校準時間差異帶來的重復性風險，從而顯著降低了與校準相關的誤差。

產品常與精密射頻功率傳感器配合使用，可以迅速而準確地測量射頻發生器的功率輸出。

超穩定低VSWR負載，用于快速和精確地測量發電機輸出功率。

在過程臨界頻率下，VSWR的總變化小于0.1分貝。

可選互鎖溫控開關，提供額外的安全保護。

油介質和自然對流冷卻方式，確保設備長時間穩定運行。

BIRD油冷式終端8921適用于各種需要高精度射頻能量調控的等離子體項目，如刻蝕、沉積、濺射等工藝過程。

注意事項

在使用前，請確保設備已正確安裝并連接至適當的電源和射頻系統。

在操作過程中，請密切關注設備的運行狀態和儀表盤上的各項參數變化。

如發現異常情況，應立即采取措施進行處理，并聯系專業人員進行維修。

定期對設備進行清潔和保養工作，以確保其處于良好的工作狀態。

德國進口原裝BIRD油冷式終端8921以其優能的性能和穩定的表現，在等離子體工藝中發揮著重要作用。

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