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FB-2100聚焦離子束系統
高效率的電鏡樣品制備和微加工工具。
特點：
1．高精度及高切削速度。
2．微樣品制備成為可能。
3．降低了對樣品的損傷。
4．更寬的束流能量范圍。
主要技術指標
在加速電壓為40kV時：
| 圖像分辨率： | 6 nm |
| 大束流： | 30 nA |
| 大束流密度： | 25 A/cm2 |
| 束位置穩定性： | 15 nm/min |
| 放大倍率（顯示） ： | 700X 到 300,000X |
| 離子光學 |
| 離子源 | Ga |
| 發射槍位置調節： | 手動 |
| 透鏡： | 2級電磁透鏡系統 |
| 像散校正： | 8極電磁系統 |
| X和Y方向偏轉： | 8極靜電系統 |
| 遮擋： | 靜電系統 |
| 光闌： | 計算機控制馬達驅動 |
| 加速電壓： | 10~40kV （10, 15, 20, 25, 30, 35, 40 kV 可選） |
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