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一、linetech氣體質量流量控制器產品特點
二、linetech氣體質量流量控制器技術參數
型號 | 質量流量計 | 質量流量控制器 |
流量范圍(N2) | 10SCCM~1000SLPM | 10SCCM ~ 300slpm |
響應時間 | <2 sec | <2 sec |
精準度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重復精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐壓 | <90bar | 0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
工作環境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范圍 | 2 ~ 100% | 2~ 100% |
三、linetech氣體質量流量控制器接口尺寸
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