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數字式質量流量控制器產品特點
測量質量流量
無需溫度和壓力補償
結構緊湊
精度高
工作壓力高
響應時間快
重復性高
數字式質量流量控制器技術參數
量程范圍：5SCCM-1500SLPM
精度：±1%滿量程
量程比：50：1
重復性：<0.2%讀數
操作溫度：-10~50℃
泄露率：< 2 x 10-9mbar l/s He
預熱時間：標準30min
壓力等級：3MPa;10MPa
接液材質：316L
密封材質：標準Viton，可選EPDM、Kalrez
防護等級：IP40
供電電源：+15~24VDC
電流：70mA
模擬量輸出信號：0-5VDC；4-20mA；0-10VDC
數字輸出信號：無
電氣接口：標準DB9 M
過程接口尺寸：可選
數字式質量流量控制器訂貨參數
氣體種類
量程范圍（標準狀態下量程）
使用壓力
入口壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號
過程接口尺寸
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
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