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一、國產質量流量控制器特點
· 測量質量流量
· 無需溫度和壓力補償
· 結構緊湊
· 精度高
· 工作壓力高
· 響應時間快
· 重復性高
二、國產質量流量控制器產品簡介：
本體耐壓100bar，可測量腐蝕性氣體，結構緊湊，重復性高，響應時間快，性價比高，可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM，質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。
三、技術參數
型號 | 質量流量計/質量流量控制器 |
流量范圍(N2) | 10SCCM~100SLPM |
響應時間 | <2 sec |
精準度 | ≤±1% FS |
重復精度 | ±0.2% FS |
輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA |
耐壓 | <100bar |
工作環境溫度 | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范圍 | 2 ~ 100% |
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