當(dāng)一塊8英寸TGV玻璃基板需要15分鐘完成百萬微通孔定位+600萬幾何特征（孔徑、圓度、位置度）檢測，傳統(tǒng)設(shè)備還在“逐點(diǎn)掃描"時，瑞士丹青科技Werth的復(fù)合式三坐標(biāo)測量機(jī)的高清柵格掃描功能可在相機(jī)最大頻率下通過圖像處理傳感器的連續(xù)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)圖像采集。可以實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的高分辨率自動檢測。將單個圖像疊加成完整圖像，可以實(shí)現(xiàn)以極短的測量時間和高的測量精度在“圖像內(nèi)"進(jìn)行分析評估。  

瑞士丹青科技Werth的**WFP 光纖測針**能夠利用半徑僅為10微米的探針球?qū)O小尺寸的幾何特征進(jìn)行高精度的接觸測量，接觸力僅在幾微牛范圍內(nèi)，可以對易變形零件進(jìn)行不變形及不損害表面的測量。WFP光纖測針有2D光纖（XY平面）和3D光纖（空間）兩種型號。結(jié)合三維重構(gòu)算法，精準(zhǔn)測量錐度及不同深度下直徑隱形缺陷，從根源杜絕因金屬化不均勻?qū)е碌男盘杺鬏斒А獪y量精度=產(chǎn)品壽命！  

基板表面哪怕出現(xiàn)0.5μm的局部隆起，也會在芯片鍵合時引發(fā)“多米諾效應(yīng)"。瑞士丹青科技 Werth的**CFP 點(diǎn)色譜傳感器**基于色差原理測量的傳感器，可以不受零件表面性質(zhì)的限制，能掃描高折射和透明的表面。以非接觸模式掃描表面平面度，2000點(diǎn)/秒的高速采樣配合納米級Z軸補(bǔ)償，高精度鎖定每一處微觀起伏，更通過熱膨脹系數(shù)動態(tài)校準(zhǔn)，讓玻璃基板在高溫工藝環(huán)境下仍保持“原子級平整"！