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restek電子檢漏儀入口壓力與顯示值的關(guān)系研究
閱讀：436發(fā)布時(shí)間：2021-10-28
restek電子檢漏儀通常由真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室及測(cè)量電路組成，其中核心為質(zhì)譜室。質(zhì)譜室又由離子源、分析器、收集器三部分組成。其一般的原理是將進(jìn)入質(zhì)譜室中的混合氣體進(jìn)行電離，形成具有一定能量的離子，這些離子由于質(zhì)荷比的不同，在分析器中將按不同軌跡運(yùn)動(dòng)從而彼此分開(kāi)，僅使氦離子在收集極上收集并最終放大顯示。
restek電子檢漏儀在本質(zhì)上講可以看成是氦氣原子的計(jì)數(shù)器。其無(wú)論輸出顯示的是電壓值還是漏率值，雖然表現(xiàn)形式不一樣，但這些顯示值必將都與進(jìn)入質(zhì)譜室中的氦氣原子的摩爾數(shù)是線性正比的。在有些文獻(xiàn)上，也將檢漏儀的輸出顯示值看成與進(jìn)入質(zhì)譜室中的氦分壓成線性正比的。這在本質(zhì)上是一致的，可以通過(guò)理想氣體的狀態(tài)方程進(jìn)行簡(jiǎn)單的轉(zhuǎn)換。在一般的氦質(zhì)譜檢漏儀中，被檢件接在檢漏儀的高真空側(cè)(即檢漏儀的質(zhì)譜室)，當(dāng)被檢件漏氣或出氣較大時(shí)，質(zhì)譜室中的壓力將超過(guò)儀器的最高工作壓力，此時(shí)檢漏儀就無(wú)法進(jìn)行工作了，因此，實(shí)際工程中往往采用逆流檢漏儀。逆流檢漏儀是利用高真空泵的
壓縮比與被抽氣體質(zhì)量有關(guān)的原理來(lái)工作的。氣體的質(zhì)量越小，壓縮比也就越小，因此逆擴(kuò)散的示漏氣體的分子數(shù)就越多，這些逆擴(kuò)散的分子進(jìn)入質(zhì)譜室，最終形成了檢漏儀的輸出讀數(shù)。現(xiàn)在工程實(shí)際中所使用的檢漏儀幾乎全是逆流檢漏儀。
restek電子檢漏儀入口壓力與顯示值的關(guān)系：
(1)當(dāng)所測(cè)氣體的濃度和溫度固定時(shí)，檢漏儀的入口壓力與顯示值是線性關(guān)系；且該線性關(guān)系的斜率是檢漏儀的本質(zhì)屬性，只與檢漏儀自身的參數(shù)有關(guān)。
(2)通過(guò)調(diào)節(jié)檢漏儀的入口壓力來(lái)調(diào)節(jié)進(jìn)入檢漏儀的氦氣量，從而可以測(cè)試檢漏儀的線性，這就為測(cè)試檢漏儀的線性提供了一種廉價(jià)而方便的方法。
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