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XM 超精密線(xiàn)性電機(jī)平移臺(tái)可提供持續(xù)、可靠的動(dòng)力性能，運(yùn)動(dòng)精度可以達(dá)到 1 nm。如此強(qiáng)大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應(yīng)用的理想選擇。性能超高，小增量運(yùn)動(dòng)為 1 nm，非接觸直接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，精度超高、動(dòng)態(tài)性能好且操作可靠，亞納米級(jí)高精度玻璃標(biāo)度編碼器，重復(fù)精度為 80 nm，超大型無(wú)鐵心高效率線(xiàn)性電機(jī)可大限度地減少發(fā)熱，*抗蠕變交叉滾子軸承可確保無(wú)波紋運(yùn)動(dòng)，可選花崗巖底座可確保超平穩(wěn)安裝條件以實(shí)現(xiàn)超好性能。

XM 超精密線(xiàn)性電機(jī)平移臺(tái)

主要特征：

適用于激光加工應(yīng)用，3軸超精密，可以通過(guò)命令控制 1 nm 位移步長(zhǎng)，超精密設(shè)計(jì)和 Heidenhain 光柵尺使 XM 線(xiàn)性平移臺(tái)系列能夠在受控環(huán)境中通過(guò)*的命令控制 1 nm MIM。創(chuàng)新的中心驅(qū)動(dòng)、無(wú)鐵、直接驅(qū)動(dòng)線(xiàn)性電機(jī)，配套的抗蠕變交叉滾子軸承可實(shí)現(xiàn)超高精密控制，面向XY 組件的 T 形托架設(shè)計(jì)，具有超表面平整度的花崗巖底座，微定位校準(zhǔn)服務(wù)，用于超可重復(fù)移動(dòng)的高精密線(xiàn)性玻璃標(biāo)尺，通過(guò)精密制造實(shí)現(xiàn)超高性能，節(jié)省空間的高可靠性設(shè)計(jì)，免費(fèi)提供計(jì)量報(bào)告。配件：Granite 底座，Granite嚴(yán)格的平面度公差和超高硬度使之成為XM系列超精密直線(xiàn)電機(jī)位移臺(tái)的補(bǔ)充選項(xiàng)。