原子吸收光譜儀是利用待測元素的共振輻射，通過其原子蒸汽，測定其吸光度的裝置。它有單光束，雙光束，雙波道，多波道等結構形式。其基本結構包括五部分：
原子吸收光譜儀基本結構
1、光源：產生含有被分析元素特征波長的光線。常見的有空芯陰極燈（HCL）、無級放電燈（EDL）和度燈（UltrAA Lamp）。
2、原子化器：將樣品中被分析元素成比例地轉化成自由原子。所需能量通常是加熱。常用的方法是用空氣－乙炔、氧化亞氮－乙炔火焰以及電加熱。原子化的原子對光線產生吸收。
3、光學系統：將光線導入原子蒸汽并將出射光導入單色器。
4、單色器：將元素燈所產生的特定被分析元素的特征波長從其它非特征波長中分離出來。
5、檢測器：光敏檢測器（通常是光電倍增管）準確地將光強測出，轉換成電信號
6、電子線路：將檢測器的相應值轉換成有用的分析測量值。
檢測方法有三種：
1、原子吸收火焰法：可測元素70余種，一般可檢測到PPM級(10)，精密度1%左右。火焰法的操作簡便，重現性好，有效光程大，對大多數元素有較高靈敏度，因此應用廣泛。缺點是:原子化效率低，靈敏度不夠高，而且一般不能直接分析固體樣品。
2、原子吸收氫化物法：利用氫化物發生器，可對低熔點的砷(As)、銻(Sb)、鍺(Ge)、碲(Te)等元素做痕量檢測（PPb級）。一般靈敏度在ng/ml級(10)，相對標準偏差2%左右。
3、原子吸收石墨爐法：原子化效率高，進樣量少，在可調的高溫下試樣利用率達100%，靈敏度高（PPb級），有的元素也可以分析到pg/mL級。可以測定近60余種元素。但石墨爐法，試樣組成不均勻性的影響較大，測定精密度較低，共存化合物的干擾比火焰法大，干擾背景比較嚴重，一般都需要校正背景。
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