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產(chǎn)品簡介
OG系列臭氧發(fā)生器采用電暈放電原理，產(chǎn)生高濃度臭氧氣體。
詳細(xì)介紹
應(yīng)用：CVDALD氧化物生長表面處理濕刻顆粒清潔光阻去除外延zui大臭氧產(chǎn)量：OG-5000-A 210g/hr OG-5000-B 150g/hr氧氣純度要求：6個9或更高氮氣要求：5個9或更高進(jìn)氣流量：0.5-20slpm臭氧出口壓力：15-40psi運行環(huán)境溫度：5-35度冷卻水溫度：20+—3度冷卻水流量：1-1.2gpm at 60psi冷卻水品質(zhì)：半導(dǎo)體級