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高品質光學鍍膜:二氧化硅,二氧化鈦,五氧化二鉭

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更新時間:2015-11-08 23:26:16瀏覽次數(shù):1024

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產(chǎn)品簡介

由于濺射原子的高能量,離子束濺射薄膜的密度和所使用的體材料的密度非常相似。 在每次的工藝過程之間,這個密度具有*的重復性。

詳細介紹

由于濺射原子的高能量,離子束濺射薄膜的密度和所使用的體材料的密度非常相似。 在每次的工藝過程之間,這個密度具有*的重復性。 請注意有可能沉積許多具有非晶態(tài)或者半晶態(tài)的材料。 對于光學鍍膜來說,這通常是非常有利的,因為它降低了雙折射的影響。

光學鍍膜的一個主要特點是它的表面質量。 表面質量決定了光學器件本身的性能。 高品質的光學鍍膜起始于光滑的超級拋光的光學基板,其均方根粗糙度是0.05納米。常規(guī)鍍膜會在增加光學基板表面的粗糙度,粗糙度取決于所使用的技術。 例如,蒸發(fā)技術沉積的薄膜表面均方根粗糙度典型值是1納米,而離子輔助沉積技術獲得的表面均方根粗糙度典型值是0.4納米。 離子束濺射沉積的薄膜表面均方根粗糙度和超級拋光的基板相當, 為0.05納米。

高品質的光學鍍膜應具有低的光損耗。 光學鍍膜內的損耗來自散射和吸收。 離子束濺射產(chǎn)生的薄膜具有很低的總損耗,以至于需要精密的儀器來測量它們。已經(jīng)有兩個獨立的研究組公布其測量的鏡子的損耗小于百萬分之二。 這兩個小組都使用牛津儀器離子束濺射沉積系統(tǒng)來制作鏡子。

  • Laser Bar Facet
  • 高品質鏡面
  • 雙波長增透膜
  • 注釋
激光棒鏡面鍍膜
激光器的諧振腔是由一些鏡面所構成的。激光束會從率的一個鏡面穿透發(fā)射出來,因此必須在一端對光束進行限制,而另一端使光束zui低損耗地出射。
這可通過在反射面增加一層增反膜(HR),在出射面增加一層增透膜(AR)實現(xiàn)。
 
 laserbar
 由于激光棒諧振腔各個面鍍膜的情況不同,因此激光棒必須安裝在一個可靠的裝置上,首先對一個面進行沉積鍍膜,然后把激光棒翻轉,對另外一個面進行沉積鍍膜,同時要保證之前那個面不會被污染。  sh3000

離子束濺射沉積

  • 無燈絲射頻(RF)源
  • 無燈絲輔助射頻源
  • 無燈絲苯基-萘基胺

 

 ib_www_as
 通過時間控制器或晶體振蕩器在40毫秒內關閉進行工藝控制
• Al2O3 大于 20 nm/ min
• Si 大于 20 nm/ min
• SiO2 大于 20 nm/ min
• Ta2O5 大于 25 nm/ min
均勻性優(yōu)于 +/- 2 %
 
 典型的離子束濺射裝置布局圖
對于激光棒的鍍膜,我們使用直接沉積的方法:
- 這樣側壁的沉積量zui少
-得到均勻的沉積面厚度和輪廓
 

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