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1. 離子能量和離子電流密度分別控制
2. 典型的工藝壓強(qiáng)：1-10 毫托
3. 等離子體密度：大約5×1011/cm2
4. 等離子體和襯底相接觸
5. 沉積過程中離子電流的能量低
6. 離子電流(等離子體密度)取決于ICP的功率
7. ESS(靜電屏蔽)功能做到真正的感應(yīng)耦合
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
感應(yīng)耦合等離子體-化學(xué)氣相沉積（ICP-CVD）
主要特點(diǎn)
1. 離子能量和離子電流密度分別控制
2. 典型的工藝壓強(qiáng)：1-10 毫托
3. 等離子體密度：大約5×1011/cm2
4. 等離子體和襯底相接觸
5. 沉積過程中離子電流的能量低
6. 離子電流（等離子體密度）取決于ICP的功率
7. ESS（靜電屏蔽）功能做到真正的感應(yīng)耦合
典型應(yīng)用:
1. 面向剝離技術(shù)的低溫沉積
2. 低溫沉積超高質(zhì)量二氧化硅
3. 低溫沉積多晶硅
4. ICP是*自動(dòng)匹配（2個(gè)射頻自動(dòng)匹配單元）
牛津儀器的ICP CVD工具
本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品
MX6復(fù)合氣體檢測(cè)儀 現(xiàn)貨美國(guó)英思科M40四合一氣體檢測(cè)儀
TN3紅外測(cè)溫儀 fluke 59mini紅外測(cè)溫儀 照度計(jì) CENTER337 tx2000 h2氫氣檢測(cè)儀 HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑 HI93735-01總硬度配套試劑
3011食品中心溫度計(jì) FD216測(cè)氡儀土壤取樣器 HGY2058在線電磁式酸堿濃度計(jì)
HGY2018在線PH計(jì) RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器 AR3130電子天平 SA1200（P）空氣消毒機(jī)
YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測(cè)量?jī)x DO200在線溶解氧測(cè)定儀 YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測(cè)儀 3M6800防毒面罩 美國(guó)華瑞PGM-2400 四合一復(fù)合式氣體檢測(cè)儀 YSI3100 電導(dǎo)率儀 HT10S煙氣黑度照相測(cè)定儀 正壓式空氣呼吸器 COD-571-1型消解裝置
PPMhtv甲醛檢測(cè)儀 AD102農(nóng)藥檢測(cè)卡 DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計(jì)
PRM-3040射線檢測(cè)儀 美國(guó)MSA 10108311歐特防護(hù)眼鏡 PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測(cè)儀 MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測(cè)報(bào)警儀 MIC-500-CH4O 甲醇探測(cè)器
YSI 550A型便攜式溶氧儀 TES-1360A溫濕度計(jì) GM1357聲級(jí)計(jì)
PGM-7840復(fù)合氣體檢測(cè)儀 GDYS-102SJ尿素測(cè)定儀 GDYS-101ST鐵測(cè)定儀
GDYS-101SC2臭氧測(cè)定儀 GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測(cè)儀（10通道）
GDYS-101SC2臭氧測(cè)定儀 D3A激光測(cè)距儀
本月*產(chǎn)品
現(xiàn)貨美國(guó)英思科M40四合一氣體檢測(cè)儀 M40硫化氫傳感器 PGM-7840復(fù)合氣體檢測(cè)儀 PGM-6208 6合一氣體檢測(cè)儀 FGM-1100 IR 可燃?xì)庠诰€監(jiān)測(cè)儀
PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測(cè)儀 FGM-3300 環(huán)氧乙烷（ETO）氣體檢測(cè)儀
M40一氧化碳傳感器 M40氧氣傳感器 PGM-1600可燃?xì)怏w報(bào)警儀
| 特征 | Plasmalab System 80Plus | Plasmalab System100 | Plasmalab System133 |
|
| ICP65 | ICPCVD180 | ICPCVD380 |
| 電極尺寸 | 240mm | 240mm | Up to 330mm |
| 進(jìn)樣 | 開放進(jìn)樣 | 真空進(jìn)樣 | 真空進(jìn)樣 |
| 襯底 | 50mm wafers 2英寸晶片 | 6英寸，可以選擇多片或小片的載片臺(tái) | 8英寸，可以選擇多片或小片的載片臺(tái) |
| 摻雜劑 | 不行 | 包括PH3，B2H6和GeH4在內(nèi)的多種摻雜劑 | 包括PH3，B2H6和GeH4在內(nèi)的多種摻雜劑 |
| 液體源 | 不行 | 不行 | 不行 |
| 質(zhì)量流量計(jì)控制的氣體管線 | 可使用8或12根管線 | 可使用8或12根管線 | 可使用8或12根管線 |
| 載片臺(tái)的溫度范圍 | 20°C到 400°C | 0°C 到 400°C | 0°C 到400°C |
| 在位等離子體清洗 | 可以 | 可以 | 可以 |
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