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HD-2700球差校正掃描透射電子顯微鏡

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更新時間:2015-11-10 04:44:29瀏覽次數(shù):831

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產(chǎn)品簡介

電鏡球差校正技術的實用化,使得同時進行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立高新技術公司與CEOS公司共同的努力,成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。

詳細介紹

  HD-2700帶有球差校正的場發(fā)射掃描透射電子顯微鏡

    電鏡球差校正技術的實用化,使得同時進行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立高新技術公司與CEOS公司共同的努力,成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
    HD-2700通過球差校正,用大會聚角獲得了亞納米級電子束,在分辨率和分析性能獲得重大的進步。
    HD-2700共有三種型號,分別是配有球差校正的高分辨型和標準型,以及無球差校正型,可根據(jù)應用需求選擇。
 

特點:
1. 高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像(標準型)
2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍),可以進行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時間內(nèi)獲得元素的面分布圖
*檢測微量元素成為可能
3.簡化的操作
*提供了的GUI自動調(diào)節(jié)球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容,提供了納米尺度的整體解決方案:從制樣到數(shù)據(jù)獲得和zui終分析
5.多種評價/分析功能可選
*同時獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實時元素Mapping系統(tǒng)(DF-STEM像可以同時獲得)
*實時衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時觀察)
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進行三維分析(360度旋轉(zhuǎn))
*精確的放大倍率校準功能
 

技術指標:

 項目  描述
 分辨率
(晶格分辨率)
 1、配有球差校正的標準型       0.144nm,電子槍:冷場或熱場
 2、配有球差校正的高分辨型     0.136nm,電子槍:冷場
 3、無球差校正型               0.204nm,電子槍:熱場
 加速電壓  200KV
 放大倍率  100x -10,000,000
 圖像模式  圖像模式 相襯度像(TE像)
 原子序數(shù)襯度像(ZC像)
 電子衍射花樣(可選)
 特征X射線像(可選 :EDX)
 EELS像(可選 :ELV-2000)
 電子光學  電子槍             場發(fā)射電子源,內(nèi)置陽極加熱器
 透鏡系統(tǒng)           兩級聚光鏡、物鏡、投影鏡
 球差校正器         六極/傳輸 雙重(標準型和高分辨型)
 掃描線圈           兩級電磁線圈
 電位移             0.5μm
 樣品桿  類型               側(cè)插式
 移動范圍           X,Y=±1mm,T=±30°(單傾樣品桿)
 操作系統(tǒng)                     Windows XP

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