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AT610 經(jīng)濟性原子層沉積設(shè)備是小占地面積臺式系統(tǒng)。采用半導(dǎo)體級金屬密封管路以及兼容高溫的快速脈沖原子層沉積（ALD）閥。用于集成惰性氣體吹掃的超快速質(zhì)量流量...
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