Gas Mixers氣體混配器是用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子源的氣體混配器

關于Gas Mixers氣體混配器

SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列遠程等離子源只能接受一個氣體輸入。對于某些研究項目，用戶可能需要為 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠程等離子體源混合多種工藝氣體。此處列出的三端口氣體混配器集成了多達三個質量流量受控氣體輸入端口、一個排氣/旁路泵端口和一個混合氣體輸出端口。氣體輸出端口應連接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠程等離子清洗機上的氣體輸入端口。如果需要高純度氣體輸送，排氣/旁通泵出口提供高電導泵送途徑，以排空氣體管。

特征：

• 觸摸屏用戶界面

• 多達 3 個質量流量受控的氣體輸入端口

• 用于通風室和高速抽氣管的排氣/旁路端口。

• 不同氣體種類的流速補償

• 集成計時器

• 110~230V 通用交流電源輸入。