Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機由OAI設(shè)計與制造
在半導(dǎo)體行業(yè)，OAI 擁有 40 余年產(chǎn)品研發(fā)和制造經(jīng)驗，以專為研發(fā)及半自動生產(chǎn)設(shè)計的光刻設(shè)備，應(yīng)對動態(tài)市場日益增長的挑戰(zhàn)。800E 型基于經(jīng)實踐驗證的 OAI 模塊化平臺打造，是一套增強型、高性能、高分辨率光刻系統(tǒng)，在該價格段性能好。對準器搭載 OAI 優(yōu)良光束光學(xué)技術(shù)，均勻性佳。
Model 800E 增強型半自動紫外掩膜曝光機
在半導(dǎo)體行業(yè)，OAI 擁有 40 余年產(chǎn)品研發(fā)和制造經(jīng)驗，以專為研發(fā)及半自動生產(chǎn)設(shè)計的光刻設(shè)備，應(yīng)對動態(tài)市場日益增長的挑戰(zhàn)。800E 型基于經(jīng)實踐驗證的 OAI 模塊化平臺打造，是一套增強型、高性能、高分辨率光刻系統(tǒng)，在該價格段性價比高。對準器搭載 OAI 優(yōu)良光束光學(xué)技術(shù)，良好均勻性。借助 OAI 精密光刻模塊可實現(xiàn)升級，800E 型成為實驗室或現(xiàn)場適用的多功能工具。它采用 Windows 10 控制及配方存儲功能，還配備操縱桿控制的對準和光學(xué)載臺，可配置非接觸式三點楔效應(yīng)校正及自動對準功能。這些特性組合常見于更昂貴的掩模對準器，而 800E 型以實惠價格即可提供 。
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包含上述所有正面特性，另加：
額外配備 2 個相機（共 4 個）
數(shù)字變焦功能
電動背面光學(xué)聚焦
半自動正面對準背面對準優(yōu)良光束光學(xué)系統(tǒng)2相機和4相機版本多種可選配置
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