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光刻膠的光聚合反應/水解反應示意圖
光聚合反應示意圖
光分解型光刻膠，采用含有重氮醌類化合物(DQN)材料作為感光劑，其經光照后,發生光分解反應，可以制成正性光刻膠；光交聯型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料，在光的作用下，形成一種不溶性的網狀結構，而起到抗蝕作用，可以制成負性光刻膠。
光分解反應示意圖
在半導體集成電路光刻開始使用深紫外（DUV）光源以后，化學放大（CAR）逐漸成為行業應用的主流。在化學放大光刻膠中，樹脂是具有化學基團保護因而難以溶解的聚乙烯。化學放大光刻膠使用光致酸劑（PAG）作為光引發劑。
光交聯反應示意圖
當光刻膠曝光后，曝光區域的光致酸劑（PAG）將會產生一種酸。這種酸在后熱烘培工序期間作為催化劑，將會移除樹脂的保護基團從而使得樹脂變得易于溶解。化學放大光刻膠曝光速遞是DQN光刻膠的10倍，對深紫外光源具有的光學敏感性，同時具有高對比度，對高分辨率等優點。
化學放大光反應示意圖
按照曝光波長分類；光刻膠可分為紫外光刻膠（300~450nm）、深紫外光刻膠（160~280nm）、極紫外光刻膠（EUV，13.5nm）、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠等。不同曝光波長的光刻膠，其適用的光刻分辨率不同。通常來說，在使用工藝方法一致的情況下，波長越短，加工分辨率越佳。
產品供應：
| 產品 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度（um) | 適用范圍 |
| 厚膠 Thick Resist | SU-8 GM10xx系列 | g/h/i-Line | 負性 | 0.1um | 0.1-200 | 具有較大的高寬比，透明度高，垂直度。 |
| SU-8 Microchem | g/h/i-Line | 負性 | 0.5um | 0.5-650 | 具有較大的高寬比，透明度高，垂直度。 | |
| SPR220 | g/h/i-Line | 正性 | 1um | 1—30 | 可用于選擇性電鍍電鍍，深硅刻蝕等工藝。 | |
| NR26-25000P | g/h/i-Line | 負性 | 20-130 | 厚度大，相對容易去膠。 | ||
| 電子束光刻膠 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度（um) | 適用范圍 |
| SU-8 GM1010 | 電子束 | 負性 | 100nm | 0.1-0.2 | 可用于做高寬比較大的納米結構。 | |
| HSQ | 電子束 | 負性 | 6nm | 30nm~180nm | 分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕。 | |
| XR-1541-002/004/006 | ||||||
| HSQ Fox-15/16 | 電子束 | 負性 | 100nm | 350nm~810nm | 分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕。 | |
| PMMA(國產) | 電子束 | 正性 | \ | \ | 高分辨率，適用于電子束光刻工藝，較常用的電子束光刻正膠。 | |
| PMMA（） | 電子束 | 正性 | \ | \ | MicroChem，分子量，適用于電子束光刻工藝，較常用的電子束光刻正膠。 | |
| 薄膠 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度（um) | 適用范圍 |
| S18xx系列 | g-Line | 正性 | 0.5um | 0.4-3.5 | 較常用的薄光刻膠，分辨率高，穩定。 | |
| SPR955系列 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.7-1.6 | 高分辨率（0.35um）光刻膠，穩定。 | |
| BCI-3511 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.5-2 | 國產0.35um光刻膠，已經在量產單位規模使用。 | |
| NRD6015 | 248nm | 負性 | 0.2um | 0.7-1.3 | 國產深紫外光刻膠，已經在量產單位規模使用。 | |
| Lift off光刻膠 | 型號 | 光源 | 類型 | 分辨率 | 厚度（μm) | 適用范圍 |
| KXN5735-LO | g/h/i-Line | 負性 | 4μm | 2.2-5.2 | 負性光刻膠;倒角65-80°，使用普通正膠顯影液顯影。 | |
| LOL2000/3000 | g/h/i-Line | / | NA | 130nm-300nm | 非感光性樹脂，可以被顯影液溶解，作為lift off雙層膠工藝中底層膠使用。 | |
| ROL-7133 | g/h/i-Line | / | 4um | 2.8-4 | 負性光刻膠，倒角75~80°，使用普通正膠顯影液。 | |
| 光刻膠配套試劑 | 品名 | 主要成分 | 包裝 | 應用 | / | / |
| 正膠顯影液 | TMAH 2.38% | 4LR/PC | 正膠顯影液 | / | / | |
| 正膠稀釋劑 | PGMEA | 4LR/PC | 稀釋劑 | / | / | |
| SU8 顯影液 | PGMEA | 4L/PC | 顯影SU8光刻膠 | / | / | |
| RD-HMDS | HMDS | 500ml/PC | 增粘劑 | / | / | |
| OMNICOAT | 見MSDS | 500ml/PC | SU-8增粘劑 | / | / |
上述產品齊岳生物均可供應，用于科研！
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