技術文章 美國激光干涉儀API測量儀器信息 閱讀：213 發布時間：2025-5-12 核心優勢優異精度：標準款激光干涉儀檢測精度達 0.5ppm（0.5μm/m），能夠滿足眾多高精度制造場景；XD Laser 系列的精密型更是將精度提升至 0.2ppm（0.2μm/m），適用于半導體制造、光學鏡片研磨等對精度要求高的行業。高效測量：以 XD Laser 6D 為例，一次安裝即可同步完成定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角、滾動角等 6 項參數測量，相比傳統設備效率大幅提升 80%。例如，1 米行程機床的全面誤差檢測，傳統方法需要較長時間，使用 API 設備僅 3 - 4 小時便可完成。便捷操作：儀器采用緊湊設計，全套系統輕巧便攜。測量時無需三角架，可直接安裝在機床導軌上，極大簡化安裝流程；集成化的干涉鏡與激光器設計，減少復雜的光路調整步驟；部分型號支持 25 米以上無線遙控測量，方便操作人員在復雜工況下靈活使用。良好環境適應力：內置自動氣壓與溫度補償系統，可實時校正環境變化對激光波長和測量結果的影響；多重數字濾波器有效抑制空氣波動、溫度梯度導致的測量誤差，無論是恒溫實驗室還是溫度、濕度變化較大的工業現場，均可穩定輸出可靠數據。功能豐富：API 激光干涉儀具備多樣化的測量功能，1D 型號專注定位誤差檢測；3D 型號可測量定位誤差與雙向直線度誤差；5D/6D 型號更能實現角度參數的全面測量。此外，XD Laser 系列還可對速度、加速度、振動等動態參數進行分析，為機床性能評估提供多維度數據支持。
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