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XL-80：XL-80全新輕型激光干涉儀

雷尼紹XL-80激光干涉儀為坐標測量機 (CMM) 和機床等運動系統提供高性能測量和校準。

精度和動態性能

準確穩定的激光源和準確的環境補償，保證了±0.5 ppm的線性測量精度。可以高達50 kHz頻率讀取數據，高線性測量速度可達4 m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達1 nm。所有測量選項（不只是線性）均采用干涉法測量，使您對記錄數據的精度有信心。

XL-80激光干涉儀裝置：

XL-80激光頭可以產生非常穩定的激光光束，采用的波長可溯源至國家和標準。

特性與優點

• 激光穩頻精度通過熱控制技術將激光管長度變化控制在幾納米范圍內，達到3年內精度保持在±0.05 ppm（百萬分之一）。
• 線性測量精度在整個環境范圍內，即從0 ºC - 40 ºC（32 ºF - 104 ºF）和650毫巴 - 1150毫巴的范圍內，精度為±0.5 ppm。可以高達50 kHZ頻率讀取數據，高線性測量速度可達4 m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達1 nm。
• 儀器內置的USB意味著激光系統與計算機之間無需單獨的接口。
• 激光頭前部的一排LED狀態指示燈顯示激光狀態和信號強度，相當于將屏幕軟件上的“狀態顯示”擴展到激光頭上。
• 可以在標準 (40 m) 和長 (80 m) 距離模式之間切換。
• 模擬I/O端口允許模擬信號輸出和觸發信號輸入。
• 預熱時間少于6分鐘。
• 外接開關電源允許輸入電壓在90V - 264 V之間變化。
• CARTO軟件可以進行線性、角度、回轉軸、直線度和垂直度測量。其他測量模式則需要使用LaserXL。

規格 公制 英制:
線性測量長度范圍* 0 m – 80 m 0 in – 3200 in
測量精度
（利用XC-80補償器）
±0.5 ppm
(±0.5µm/m)
分辨率 0.001 µm 0.1 µin
* 0 m - 40 m（標準）。
線性（上述）和其他測量模式的性能規格的置信度達到95% (k = 2)，并在整個環境工作范圍內有效。

規格 公制 英制
軸向量程 0 m - 15 m 0 in - 590 in
角度測量范圍 ±175 mm/m ±10°
角度精度
角度精度（已校準）
±0.002A ±0.5 ±0.1M微弧度
±0.0002A ±0.5 ±0.1M微弧度*
±0.002A ±0.1 ±0.007F角秒
±0.0002A ±0.1 ±0.007F角秒
分辨率 0.1 µm/m 0.01角秒
* 溫度范圍： 20 °C ±5 °C
A = 顯示的角度讀數 M = 以米計的測量距離 F = 以英尺計的測量距離

規格 公制 英制
軸向量程 （短距離）
（長距離）
0.1 m - 4.0 m
1 m - 30 m
4 in - 160 in
40 in - 1200 in
直線度測量范圍 ±2.5 mm ±0.1 in
精度 （短距離）
（長距離） ‡
±0.005A ±0.5 ±0.15 M2 µm
±0.025A ±5 ±0.015 M2 µm
±0.005A ± 20 ±0.5 F2 µin
±0.025A ±200 ±0.05 F2 µin
分辨率 （短距離）
（長距離）
0.01 µm
0.1 µm
1 µin
10 µin
A = 顯示的直線度讀數
M = 以米計的測量距離； F = 以英尺計的測量距離；
‡ 視環境條件而定


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